半導體制造工廠使用的搬送系統(tǒng)

AGV (無人搬送車)

一種自動化搬送裝置，裝配有多關(guān)節(jié)的機械臂，能夠在地面上行駛，可“直接”進入保管設備及工藝設備。
“AGV”是Automated Guided Vehicle的簡稱。無人搬送車可通過高度精確的導航系統(tǒng)在復雜的路線上靈活運動，將載體運往工藝設備。