無塵自動化系統(tǒng)
在更加清潔的環(huán)境中，
可以大幅度提高半導體
技術(shù)的精確度與可靠
可以大幅度提高半導體
技術(shù)的精確度與可靠
半導體在不足半個世紀的時間里獲得了飛躍發(fā)展,已經(jīng)成為現(xiàn)代社會不可缺少的產(chǎn)品.半導體產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)的日新月異,需要高度管理下的無塵生產(chǎn)車間.在無塵車間內(nèi)部.不僅搬送設(shè)備要避免出現(xiàn)塵埃,還要在高度自動化生產(chǎn)過程中擁有絕對的可靠性.村田公司多年來積累了豐富的自動化生產(chǎn),無人化經(jīng)驗,從很早就開始提供應(yīng)用于無塵車間的各種搬送系統(tǒng)和保管設(shè)備.村田公司期待能夠通過提供無塵搬送系統(tǒng),提高半導體產(chǎn)品的生產(chǎn)效率和可靠性,為今后多媒體時代的發(fā)展做出應(yīng)有的貢獻.
- 半導體制造工廠使用的搬送系統(tǒng)
- OHT（空中單軌無人駕駛搬運系統(tǒng)）
OHS（線性電動機驅(qū)動方式空中搬運系統(tǒng)）
AGV（無人小車車）
存儲庫 - MCS（搬送控制、管理系統(tǒng)）